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Ramos, C.; Stem, N. Utilização de emissores pouco dopados na caracterização de lâminas de silício. In: CONGRESSO BRASILEIRO DE ENERGIA SOLAR, 2007, Fortaleza. Anais... Fortaleza: ABENS, 2007.
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Resumo

Este trabalho tem como objetivo principal a qualificação do silício utilizado como substrato na fabricação de células de solares, através da técnica do decaimento fotocondutivo (técnica amplamente empregada nos setores de pesquisa e produção industrial deste tipo de dispositivos). A utilização desta técnica conjuntamente com a passivação de superfícies, através da formação de emissores suavemente dopados com fósforo (estrutura n+pn+), permite a extração de parâmetros que auxiliarão o engenheiro de processos nas tarefas de simulação e otimização teóricoexperimentais das etapas que compõem o processo de fabricação completo. As amostras, processadas em fornos de tubo aberto através da pré-deposição de fósforo (fonte líquida de POCl3) seguida por oxidação em ambiente clorado (por meio de TCA), são caracterizadas com o equipamento WCT-100 “Lifetime Tester”, pelo seu tempo de vida efetivo ??_eff - modos transiente e quase-estático). Utilizando os dados do inverso do tempo de vida em função da concentração de portadores obtêm-se informações referentes ao volume do material e aos emissores de fósforo formados, possibilitando desta forma a análise da qualidade do material e de etapas fundamentais do processo de fabricação.

Abstract

The purpose of this work is the qualification of silicon used as substrate, in solar cells manufacturing, by means of the photoconductance decay technique (method widely used in research centers and production lines for this kind of devices). The use of this technique added to the surface passivation, with the formation of lightly phosphorus doped emitters (structure n+pn+), allows the extration of parameters that will assist the process engineer in the simulation tasks and theoretic-experimental optimization of the steps that compose the complete manufacture process. The samples, processed in open tube furnaces through a pre-deposition of phospforus (liquid source of POCl3), followed by oxidation in presence of chlorine (by means of TCA), are characterized in the WCT-100 "Lifetime Tester" equipment, by extracting its effective lifetime (.eff - methods transient and quasi-static). With the substrate in high level injection condition one gets information related to the volume of the material (.bulk) and to the phosphorus emitters produced, making possible in this way the analysis of the quality of the material and some fundamental steps in the manufacture process
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